半導体材料ガス警報検知器XPS-7【新コスモス】

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半導体材料ガス検知器XPS-7

半導体工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に。

半導体材料ガス検知器XPS-7

ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、1台で様々な半導体材料ガスを検知可能。

カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減。

重さわずか1.3kgの小型•軽量タイプ。

ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。

アルシン【AsH3】,アンモニア【NH3】,一酸化炭素【CO】,一酸化窒素【NO】,塩化水素【HCI】,塩素【Cl2】,オゾン【O3】,三フッ化塩素【ClF3】,ジクロルシラン【SiH2Cl2】,ジシラン【Si2H6】,ジボラン【B2H6】,臭化水素【HBr】,セレン化水素【H2Se】,二酸化硫黄【SO2】,二酸化窒素【NO2】,半導体材料ガス,フッ化水素【HF】,フッ素【F2】,ホスフィン【PH3】,モノゲルマン【GeH4】,モノシラン【SiH4】,硫化水素【H2S】

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製品名 価格
商品コード G-113 納期をご確認ください。
半導体材料ガス警報検知器XPS-7
税別 216,000円
(税込 233,280円)
商品コード G-113-S
XPS-7用センサユニット ※半導体材料ガスを指定ください。
税別 25,000円
(税込 27,000円)

半導体材料ガス検知器XPS-7の特長

半導体材料ガス検知器XPS-7

センサユニットを交換するだけで、様々なガスの検知が可能

ガス種・フルスケール・警報ポイントの設定は自動設定で面倒な操作は不要です。
これによりメンテナンス時間やコストを大幅に削減できます。
(センサユニットは6ヶ月交換です)

校正済みでお客さまにお届けしますので交換するだけですぐに使用可能

持ち帰り点検校正や現場での校正作業が不要

重量はわずか1.3kg。

従来製品の約1/2。軽量化を実現し、より一層持ち運びが便利

の警報音がガス濃度に合わせて変化

ガス濃度が低いと断続音、高くなると断続音の間隔が短くなり、連続音に変化します

乾電池・AC電源どちらも使用可能

半導体材料ガス警報検知器XPS-7は、ロガー機能付でPCでのデータ管理が可能

半導体材料ガス検知器XPS-7の対象ガス一覧

測定ガス フルスケール 警報設定値 単位
1段目 2段目
アンモニア 100 12 25 ppm
シラン 25 2.5 5 ppm
ジクロルシラン 25 2.5 5 ppm
アルシン 250 25 50 ppb
ホスフィン 1 0.15 0.3 ppm
ジボラン 500 50 100 ppb
セレン化水素 250 25 50 ppb
ゲルマン 1 0.1 0.2 ppm
塩素 5 0.25 0.5 ppm
三フッ化塩素 1 0.05 0.1 ppm
塩化水素 25 2.5 5 ppm
フッ化水素 10 1.5 3 ppm
臭化水素 10 1.5 3 ppm
一酸化窒素 100 12 25 ppm
硫化水素 50 5 10 ppm
一酸化炭素 250 12.5 25 ppm
ジシラン 25 2.5 5 ppm
フッ素 5 0.5 1 ppm
オゾン 1 0.05 0.1 ppm

半導体材料ガス検知器XPS-7の用途

半導体工場では、低濃度で人体へ影響が出るシラン、アルシン等の毒性ガスが材料ガスとして使われています。

そのため、これらの毒性ガスが万が一漏洩した場合、低濃度で検知できるガスセンサを搭載したガス検知警報器やガス検知器が必要とされています。

半導体材料ガス検知器XPS-7の仕様

検知対象ガス 半導体材料ガス
検知原理 定電位電解式
ガス採気方法 ポンプ吸引式
検知範囲 仕様による
分解能 フルスケールの100分の1表示
指示精度*1 FS±10%以内
警報モード 2段警報方式
警報方式 ブザー(断続音)、アラームランプ点滅
応答時間*1 60秒以内(60%応答)
濃度表示方式 LCDデジタル表示
使用温度範囲 0~40℃
電源 単3形アルカリ乾電池4本*2
またはAC専用アダプタ(オプション)
電池使用時間 連続12時間以上(アルカリ乾電池にて無警報時、20℃の場合)
寸法 本体 W62×H150×D128㎜(突起部のぞく)
重量 約1.3kg
付属品 ショルダーベルト、単3アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚
オプション AC専用アダプタ (AC100V/DC6V)
センサ専用通電台 *
ログデータ収集キット

半導体材料ガス検知器XPS-7のメンテ

半年に一度は点検をお勧めします。

弊社へ製品をお送りいただき(送料はお客様負担)、製品を見てからのお見積りになります。

もしくは、FAXでご連絡ください。FAX:044-738-0623

送料+手配量が別途かかります。

センサーの交換について  お問合せかFAXにてお見積りをご依頼をお願いします。

ISO対策の3点セット(校正証明書・試験成績書・トレサビリティ)の発行が可能です(有償)