半導体工場における半導体材料ガスの漏洩検知にポータブルタイプ
NF3検知に対応した世界最小のポータブルガス検知器。
検知対象ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、メンテナンス時間・コストを大幅に削減!
ガス検知器の校正不要。ガス濃度に連動する警報音。ロガー機能付きでPCでのデータ管理が可能。
半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。半導体工場等毒性ガスを使用する現場でのガス漏洩検査に。
水素関連設備の保安に 校正書類の発行可(有償)
1台でさまざまな半導体材料ガス(アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など)に対応。
対象ガスを選択:毒性ガス(アンモニアNH₃、ホスフィンPH₃、塩素Cl₂) 校正書類の発行可(有償)
本質安全防爆構造(国内防爆/ATEX/IECEx)。充電池/乾電池で電源仕様を選択可能。
高機能・高耐久新型Rセンサ搭載。センサ3年保証。 メーカー(理研計器)と協力して全国対応
毒性ガス1種類を選択:シアン化水素ガスHCN・二酸化硫黄ガスSO2・二酸化窒素ガスNO2・ホスフィンガスPH3・アンモニアガスNH3・塩素ガスCL2
持ち運び・設置が簡単。ガス種の変更やメンテナンスが簡単! 校正書類の発行可(有償)
センサ(センサユニット)の交換によりさまざまなガス検知が可能
現場で簡単にメンテナンスができます。大学・研究期間などで多く採用されています
ガスの選択:酸素、一酸化炭素、硫化水素、水素、
可燃性ガス、毒性ガスなど ガス種の選択はこちら
センサーユニットを交換することで検知ガス種を変えることが可能な、吸引タイプ設置型ガス検知器。
半導体製造の現場に、信頼の日本品質。 吸引式 校正書類の発行可(有償)
■検知可能ガス100種類以上 ■各種通信方式対応:アナログ4~20mA出力/DC電力線搬送/Ethernet ■リユース可能な部品、再資源化が可能な構成材料等、環境負担を低減 ■CEマーキング適合
酸素、可燃性ガスの他、ホスフィン等4成分のガスを同時に測定 校正書類の発行可(有償)
ホスフィン検知範囲:0~20ppm (分解能:0.01ppm) 設定した閾値を超えた場合には大音量ブザー、バイブレーション、LED点滅の3種類のアラームでユーザーに危険を知らせます。
ワイヤレス送信対応の装着型ホスフィンガス警報器。検知範囲:0~5ppm (分解能:0.1ppm)
視覚、振動、聴覚ブザー警報。ワンボタン操作。防塵・防水設計(IP66/68)。
セルフテスト機能搭載。海外防爆対応品。長寿命センサー。
🔶ガス検知器を設置しないことが訴訟リスクに直結する可能性が高くなる!😄 お気軽にご相談ください。
🔶今後は、日本でもリスクアセスメントの厳格化が進行
🔶他の先進国と同様に、日本でもリスクアセスメントの精度が徐々に向上し安全対策の重要性が増しています。
🔶その中で、ガス警報器の設置と適切な維持管理は、リスク低減において欠かせない要素です。
🔶ガス警報器の設置で、労働災害や重大な事故を未然に防ぐことが可能になります。