ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１台で様々な半導体材料ガスを検知可能。２段階で警報音
ロガー機能付きでPCでのデータ管理が可能 。
半導体材料ガスを選択ください。
アンモニア・シラン・ジクロルシラン・アルシン・ホスフィン・ジボラン・セレン化水素・ゲルマン・塩素・三フッ化塩素・塩化水素・フッ化水素・臭化水素・一酸化窒素・硫化水素・一酸化炭素・ジシラン・フッ素・オゾンなど。
| 製品名 | 価格（税込） | |
|---|---|---|
| 半導体材料ガス警報検知器XPS-7 | 233,280 円 | カゴに入れる |
| XPS-7用センサユニット | 27,000 円 | カゴに入れる |
半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。半導体工場等毒性ガスを使用する現場でのガス漏洩検査に。水素関連設備の保安に
1台でさまざまな半導体材料ガス（アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など）に対応。
| 製品名 | 価格（税込） | |
|---|---|---|
| 半導体材料ガス採取器XP-703DⅢ | 125,928 円 | カゴに入れる |
