半導体工場内の安全管理に最適
●NF3検知タイプで世界最小サイズ！
●センサユニットを交換するだけで様々なガスを検知する
世界最小クラスのNF3検知器 センサユニット交換式
1台で様々な半導体材料ガスを検知可能。
NF3検知に対応した世界最小のポータブルガス検知器。
日常点検や測定データの管理が効率的になるXai対応。
検知対象ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、
メンテナンス時間・コストを大幅に削減！
ガス検知器の校正も不要。
＊弊社は正規ルートです。安心のアフターサービス
半導体製造工場の製造工程では、ガス製膜・エッチング・クリーニング等の工程にて高純度な半導体材料ガスが数多く使用
半導体材料ガスには特殊ガス、毒性ガスなどの危険なガスも多く、通常ガスボンベはシリンダーキャビネット等に入った状態で管理され、常時監視されています。
さらに、ガスボンベの交換時や定期点検の際には装置のバルブや配管の漏えい検知用としてポータブルタイプの吸引式ガス検知器が使用されています。
XPS-7IIは、半導体工場内の安全管理に最適
半導体製造で使用頻度の高い三フッ化窒素（NF3）の検知も可能。
NF3検知が可能なポータブルガス検知器としては世界最小サイズです。
●カセット式のセンサユニットを校正済でお届け。
自分でセンサユニットを交換するだけで校正が完了し、ガス検知器を預けての校正が不要。
●カセット式のセンサユニットを交換するだけなので、メンテナンス時間、ランニングコストを大幅に削減
●大きな見やすいデジタルLCD表示で濃度を表示。
ガスの濃度変化に応じてアラーム音のスピードが変化し、警報をお知らせ。
●大きな見やすいデジタルLCD表示で濃度を表示。
ガスの濃度変化に応じてアラーム音のスピードが変化し、警報をお知らせします。
●乾電池・AC電源の両方で動作可能。
AC電源によりメンテナンスなどの長時間連続監視時にも安定した電源供給が可能。
●ロガー機能搭載。
●コンパクトサイズで持ち運びしやすい小型・軽量設計。
半導体工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に。
| 型式 | XPS-7II |
| 検知対象ガス | 半導体材料ガス |
| ガス採気方式 | 自動吸引式 |
| 検知原理 | 定電位電解式 |
| 検知範囲 | 仕様による |
| 分解能※1 | フルスケールの100分の1または200分の1表示 |
| 指示精度※2 | FS±10％以内 |
| 警報方式 | ブザー（断続音）、アラームランプ点滅 |
| 応答時間 | 60秒以内（60％応答） |
| 使用温度範囲 | 0℃～+40℃ |
| 電源 | 単3形アルカリ乾電池4本、またはAC専用アダプタ（オプション） |
| 連続使用時間※3 | アルカリ乾電池使用時：12時間以上※4（無警報時、20℃の場合） |
| 外形寸法 | W62×H150×D128mm（突起部を除く） |
| 重量 | 約1.3kg |
| 標準付属品 | ショルダーベルト、単3形アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚 |
| オプション※5 | AC専用アダプタ（AC100V～240V/DC6V）、センサ専用通電台、ログデータ収集キット |
※1 ガス種によってフルスケールが異なります。
※2 同一測定条件による。
※3 環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場合があります。
※4 NF3センサユニット搭載時は8時間以上となります。
※5 AC専用アダプタ、ログデータ収集キットセンサ専用通電台はCE対象外になります。
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