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高性能顕微鏡レンズの解像度テスト HJ-RC

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100nmの限界に挑む! 究極の解像度テスト

・ナノの世界を見極める、電子ビーム精密パターン
・高解像度×高コントラスト、プロフェッショナル仕様の検証ツール
・顕微鏡の真価を見抜く最大100nm構造

✅高性能顕微鏡レンズの解像度テスト HJ-RCは、世界最高の技術で製造

✅高密度パターンが実現する究極のコントラストと鮮明さ

電子ビームリソグラフィが生み出す精緻なテストパターン

✅ナノスケール観察を保証する、確かな精度と耐久性

✅高性能レンズの限界を引き出す、解像度テストの決定版

✅研究から品質保証まで、信頼される精密評価ツール


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製品名価格
商品コード MTC-003-01
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高性能顕微鏡レンズの解像度テスト HJ-RC (7.5-3300LP/mm) 電子ビームリソグラフィ
税別 198,000円
(税込 217,800円)

特長

・解像度チャートを観察することで、透過光により顕微鏡の対物レンズの解像度を非常に簡単に分析できます。

・ 59のラインパターンがあり、倍率に応じた適正な解像度テストが可能。

・ スライド形式で様々な顕微鏡に使用可。

・1mmあたり7.5~3300本のラインペアを持つテストチャート および4 µm~0.25 µmのピンホール。

・解像度テストターゲットは、すべて高精度な電子ビームリソグラフィーを用いて製造。

・10×10mm²の基板は石英製で、非常に広い分光透過率(DUV-VIS-NIR)を有しています。

・基板は、高い光学密度を持つクロム層が形成されています。

・優れた寸法公差と構造体のエッジの真直性が確保されます。

・解像度のテストターゲットは、標準サイズ75×25 mm²の堅牢なステンレス製サポートに組み込まれています。

仕様

基板 水晶ウエハ(溶融石英):10mm×10mm×1.0mm
基板スライド レーザー彫刻ステンレス:75mm×25mm×1.5mm
パターン層 クロム、光学濃度OD >> の場合
8@400 nm / 6@550 nm / 4.5@750 nm / 3.6@1 μm
ラインパターン 59グループ、7.5~3300 lp/mm
(線幅 66.7μm~0.152μm)
ピンホール(直径) 4μm、2μm、1μm、0.5μm、0.25μm
寸法許容差(最大絶対誤差) 100nm/cm = 10-5
分光透過率範囲 200 nm ~ 2000 nm

導入のメリット

テストターゲットは、顕微鏡や光学レンズの「パフォーマンスを最大限に引き出す」「評価を標準化する」「信頼性を高める」ために大きな役割を果たします
特に、ナノスケールの構造確認が求められる研究、開発、品質管理の現場には最適なツールです

顕微鏡の「解像力」を客観的に評価・確認できる

・電子ビームリソグラフィーによって形成された100nmの極細構造を使い、自社顕微鏡の性能やレンズ品質を高精度にチェックできます

・装置のスペックどおりの解像力が出ているか、ユーザー自身で簡単に検証可能

最適なコントラストで、正確な測定と観察が可能

・高い光学密度によるシャープなコントラストが得られ、微細な構造の可視化・解析をスムーズに行えます

・ コントラストが良いため、フォーカス合わせが楽になり、観察ミスが減少します

100nmクラスの超微細構造による、限界性能の評価

・ナノレベルのパターンを使ったテストにより、通常の解像度テストチャートでは難しい、極限の性能評価が実現

・ 特に高倍率・高性能レンズを使用している研究機関や企業には最適なツール

毎日使える堅牢な品質で、長期にわたる安定運用が可能

・頻繁な使用や持ち運びでも耐久性が高く、継続的な検証作業に安心して利用できます
・消耗品ではなく、長期的な設備投資としてコストパフォーマンスに優れています

導入によって品質管理や製品保証に信頼性が加わる

・自社製品やプロジェクトで使用する顕微鏡の性能を検証し、クライアントや品質保証への説明に説得力を持たせられる

・装置納品時やメンテナンス後の性能チェックに活用し、信頼性の高い報告書を作成可能

教育・トレーニングにも最適

・顕微鏡操作や解像力の限界を学ぶ実習・研修にも使用でき、教育効果が高い

・ 初心者とプロの両方に、観察技術の習熟をサポート

半導体検査における活用法

この解像度テストターゲットは
→ 半導体製造における工程間の信頼性確保
→ 微細パターン検査の正確性と安定性の維持
→ 品質保証(QA QC)ツールとしての役割が大きいです

光学顕微鏡・検査装置の性能確認・定期校正

半導体製造ラインで使われる顕微鏡(マスク検査 ウエハ検査 パターン検査など)の解像力とコントラスト性能を客観的かつ高精度に確認できます
定期的な校正・メンテナンス後に使用し 検査装置のパフォーマンスを維持・保証

ナノパターンの検査精度評価と最適化

100nm以下の微細パターンの検査・観察が求められる半導体工程(リソグラフィー エッチング CMP後の検査など)で 顕微鏡や光学システムの限界性能を事前に把握できます
装置の解像限界を正確に知ることで 欠陥検出感度の最適化が可能

検査工程の信頼性向上・品質保証(QA/QC)

装置の精度検証により 検査工程での誤検出・見逃しのリスクを低減
製品納入時や工程間の品質保証において 検査装置は正しく動作している証拠を提供でき クライアントや第三者機関への信頼性を高める

新規装置・レンズ導入時の評価・比較テスト

新たに導入する顕微鏡や光学機器を 導入前後で他装置と比較評価
光学系の解像度・コントラストを事前評価しておくことで 製造ラインに最適な機材選定が可能

光学検査と電子線検査(SEM FIB)との相関評価

光学顕微鏡とSEM FIBによるナノスケール検査の間で 解像度や観察結果の相関性を確かめるための標準ターゲットとして使用
複数検査工程の整合性を高める指標として活用できる

トレーニングとオペレーター教育

オペレーターが100nm以下の構造を確実に捉えるためのスキル習得に最適
顕微鏡や光学検査装置の操作トレーニング フォーカス調整 観察技術向上のための実践教材としても利用されている

微細パターンのコントラスト最適化(光源・絞り調整)

実際の半導体パターンと同様の高密度・高コントラスト構造で光源条件や絞り調整を行うことで 最適な観察条件を素早くセットアップ
検査工程の立ち上げや切り替え作業の効率化にも貢献


バイオ分野での活用法

→バイオ分野においては、細胞・組織レベルのナノスケール観察の品質向上
→装置性能の信頼性確保と校正作業の効率化
→データの再現性・正確性を担保するツールとして活躍します

細胞・組織観察用顕微鏡の解像度チェックと最適化

・細胞内小器官(ミトコンドリアやゴルジ体)や微細構造の観察では高い解像度が求められます

・顕微鏡の解像力を定期的にテストすることで、観察結果の信頼性を確保します

・高倍率(40x〜100x)レンズの性能を確認し、重要な実験前に最適な観察状態へ調整可能

蛍光顕微鏡・共焦点顕微鏡の性能評価

・蛍光観察や共焦点顕微鏡は、微細な構造の観察に使われますが、解像度とコントラストの調整が重要です

・テストターゲットを使うことで、光源調整やレンズのアライメント、蛍光プローブの最適化が行えます

・ マルチチャンネル蛍光イメージングでの色収差やズレを事前に確認・修正

生体試料観察前のシステムパフォーマンステスト

・細胞培養や組織切片の観察前に、光学系のパフォーマンスを事前にチェック

・ 実験開始前に顕微鏡の状態を把握し、データの再現性と信頼性を向上させる

高解像度イメージング技術(超解像顕微鏡)の校正

・STED顕微鏡、SIM、PALM/STORMなどの超解像技術では、ナノスケールの精度が重要です

・ 100nm構造のターゲットで、装置の分解能確認やデフォーカス補正を行い、最大限のイメージング性能を引き出せます

ライブセルイメージングのフォーカス・安定性確認

・ライブセルイメージングでは、フォーカス安定性と解像度維持が課題になります

・ テストターゲットを使用して、フォーカスドリフトの補正や自動フォーカスの性能確認が可能

・ 長時間観察時の画像品質を安定させるのに役立ちます

顕微鏡カメラの画質・解像力テスト

・生物顕微鏡に取り付けるCマウントカメラや冷却CCDカメラの性能チェックに使用

・ カメラの解像度やノイズ評価を行い、論文投稿レベルの高品質な画像取得に貢献

顕微鏡操作トレーニング・技術者教育

・バイオ研究者や医療従事者向けに、顕微鏡の操作練習やトレーニング用教材として利用

・ 微細構造の観察訓練に最適で、ピント合わせ・光学調整・コントラストの最適化など、操作技術向上に役立つ

論文・発表データの品質保証

・学術論文や学会発表では、顕微鏡画像の品質と解像度が重要です

・ 100nmターゲットによる解像度チェックを行うことで、取得データの品質保証と再現性の証明が可能

材料科学における活用

材料科学分野では
→ナノスケール観察の精度向上
→ 顕微鏡・分析装置のパフォーマンス維持と品質保証
→教育・研究・実験の効率化と信頼性向上 という点で この高解像度テストターゲットは重要なツールになります

顕微鏡・観察装置の解像度性能チェックと最適化

・材料科学ではナノ粒子 ナノ構造 複合材料の界面など 微細構造の解析が求められます

・顕微鏡や観察装置(光学顕微鏡 共焦点顕微鏡 電子顕微鏡など)の解像度や光学系の性能を定期的にチェックし 観察精度と信頼性を維持します

ナノ材料・薄膜材料の研究における装置校正と比較評価

・ナノ粒子 ナノチューブ 薄膜コーティングなどの研究では サンプルのサイズや表面構造の観察が重要

・ 100nmパターンを使って顕微鏡の性能を検証することで 新素材の観察・測定が正確に行える状態を保証

・ 異なる装置間での比較評価や相関分析にも使用され データの整合性を確保します

表面粗さ・微細構造の可視化と検証

・材料表面の微細な粗さやテクスチャを評価する際に 観察機器のコントラストと解像度の最適化が不可欠

・ テストターゲットで光源条件・絞り・解像度を事前に最適化し サンプル観察の前に装置のパフォーマンスを整える

・ コーティング 研磨 処理技術の評価にも適用可能

複合材料・界面構造の観察の前準備

・複合材料や異種材料間の界面構造や層構造の観察において 顕微鏡性能を事前にチェック

・ レンズの性能や焦点合わせの確認を行い 界面の観察精度を向上させます

機械的・熱的試験後の微細構造観察支援

・疲労試験 引張試験 摩耗試験 熱処理後の試料観察では 構造の微細な変化を正確にとらえる必要があります

・ テストターゲットを活用し 観察装置の状態を整えてから試料観察に入ることで 微小な変化を確実に捉えられます

測定結果の品質保証と信頼性向上(QA/QC)

・材料試験・分析のデータは 企業間取引や学術発表 認証申請で高い信頼性が求められます

・ 高解像度テストターゲットによる性能チェックは データの信頼性を担保し 品質保証(QA/QC)の証拠として利用できます

教育・トレーニング用途

・材料分析に関わる研究者・技術者の教育やスキル習得に最適

・ ナノ構造観察の基礎訓練やフォーカス合わせ 光学調整のトレーニング教材として活用されます


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