UV照射装置の管理等に最適な紫外線チェッカー
業界最高レベルのスペクトロ紫外線分光放射照度計
・一台で250～400nm間の紫外線強度をカバー
複数の受光部センサーは不要
波長域の異なる3種類の紫外線を総合的に数値化
誰でも簡単に操作でき高精度な紫外線測定が可能
・受光部と表示部は2mのファイバーで連結
・場所を選ばず、タッチパネルスクリーンで簡単操作
・4.3インチモニタ
・測定データはmicro SDに保存
・Excelフォーマットで保存
・フル充電で2.5時間の使用
UV測定スペクトルバンド幅は、ハーフバンド幅と呼ばれる測定範囲でより正確なデータの取得が可能
・用途に応じて受光部（センサー）を変更する必要ナシ
・測定単位：ｍW/cm2
・UVA (315-400nm) ：0.25〜500 mW/cm²
・UVB (280-315nm) ：0.3〜200 mW/cm²
・UVC (250-280nm)：0.2〜300 mW/cm²
＊単位の換算：1mW/cm² = 1000μW/cm²（1000倍）
・ハンドヘルド、ポータブル
・シングル多波長プローブ
・スペクトルグラフ
・実験室レベルの高精度測定をハンディサイズで実現
硬化(キュアリング)
電気・電子部品用のシーリングや接着処理
半導体、FPD、プリント基板等のフォトリソ工程で使用される、露光装置のランプ管理
プリント基板の印刷・乾燥・実装ライン
各種産業における殺菌工程等で使用されるUV照射装置のランプ強度管理に最適
UV分光放射計UV100Nのの測定結果に基づき、コンベア速度やランプ強度分布・交換時期の管理に使用することで定量化が可能です
・科学研究の分野でレベルのUV測定、UV光の光量を多用途で正確なスペクトル測定が可能
・UV光を使用する現代の工業用ウェハー加工、ポリマー硬化、医療用滅菌、UVバルブ製造用
・フォトリソグラフィーで紫外線強度の管理
￭ 光化学反応の利用分野における光量測定
• 半導体、液晶、PCB製造用 フォトリソグラフィーで紫外線の工程管理
￭ 印刷、製版用 感光材評価・管理
￭ 太陽電池の特性評価
￭ 光電気反応を含む分野における光量測定
• 電子写真露光
￭ 電子写真焼付
￭ 光放射バイオ反応の利用分野における光量測定
￭ 生産ラインでのUV光源製造に最適
￭ 紅斑、色素沈着
￭ 白斑病治療、光過敏症診断
￭ 家畜、魚類の成育促進・管理
￭ 植物の徒長抑制や光合成環境管理
￭ 殺菌作用の利用分野における光量管理
• 食品加工
￭ 美容、医療
￭ 学術研究
UV光源測定の大きな課題 UV光源を精度よく測るには？詳細はこちら
パネル製造プロセスでは、OCA接着における不適切なUV硬化の影響
コンタクトレンズ製造プロセスでは、UV硬化の欠如により、残留接着剤や波状のテクスチャが生じる
PCB製造プロセスでは、露光機からのUV光エネルギーの不均一性により、エッチング後のバリ問題が発生する
光学多層レンズの組み立てには、精密な位置合わせと配置に適した高度なUV光源が必要
半導体製造プロセスにおいて非常に高精度なパターンを作成するために不可欠
解像度の精度
フォトリソグラフィーは、フォトマスクを通じてウェハ上に微細なパターンを転写する工程です。
紫外線強度が不適切であると、パターンがぼやけたり、エッジが不明瞭になる可能性があります。
特に、波長の短い紫外線（例えば、極端紫外線、EUV）が使用される場合、その強度のわずかな変動がパターン形成に大きな影響を与えます。
露光量の均一性
ウェハ全体に均一にパターンを転写するためには、紫外線の強度が均一である必要があります。
強度が変動すると、露光の過不足が発生し、パターンの寸法にばらつきが生じ、結果として製品の歩留まりが低下する可能性があります。
レジスト材料の反応
フォトリソグラフィーでは、フォトレジストと呼ばれる光感応性材料が紫外線に曝されて化学反応を起こし、選択的に硬化または分解します。
紫外線強度が強すぎると、過剰な反応が生じ、逆に弱すぎると十分な反応が得られないため、適切な強度を維持することが重要です。
プロセスの再現性
半導体製造は非常に高い繰り返し精度が要求される
紫外線強度が安定していないと、異なるバッチ間での製造品質が一貫しないため、全体的な製品品質に悪影響を及ぼします。
このように、フォトリソグラフィーにおける紫外線強度の管理は、微細加工技術において高い精度と一貫性を確保するために不可欠です。
UV100N1台の受光部センサーで、UV-A、UV-B、UV-C全体のエネルギ分布を数値化とスペクトル表示
UV100Nは、現在の紫外線測定市場の欠点に対処するために設計された最新のスペクトル紫外線光源測定装置です。
従来の「フィルター式UVメーター」に比べ、時間を節約し、より正確で使いやすい。
小型受光部（センサー）
受光部（センサユニット）は小さく薄く（～20mm）設計
空間的に制限された状況や角度の悪い場所での測定が可能です。
センサーケーブルは、長いUVストリップライトのスキャンに使用でき、ライト全体の一貫性を確保可能
ハンディタイプなので、生産ラインやその場限りの抜き取り検査にも柔軟に対応できる。
工場からオフィス、顧客先、展示会まで簡単に持ち運ぶことができる。
スペクトルグラフ
スペクトルグラフは、UV光の特性について必要な視覚的視点を提供
迅速な評価と、検証やトラブルシューティングのための数値データとの関連付けを可能にする。
「スペクトルグラフ」と「数値データ」の両方がマイクロSDカードに簡単に保存され、後で検索したり、Excelや他のソフトウェアを使用して統計や傾向分析を行うことが可能
■UV波長は1桁ナノメートル以内で測定
最新のアプリケーションにおけるUV測定は精度が最も重要
UV100Nは、ハイエンドの実験装置と同様で、紫外線の波長を分離するために回折格子を採用
回折スペクトロメーター（UV100N）は、波長1nmの範囲まで測定できる。
■従来のフィルター式UVメーターとは違う！
UVメーターは「フィルター」を使用しているため低い精度
硬化、滅菌、工業用ウェハープロセスのような、現代のUV光クリティカルな多波長アプリケーションの測定には不十分
フィルターの種類は5～20nmの範囲で、これほど大きなギャップがあると、ある波長の測定をその範囲内の他の波長で歪めてしまう可能性がある。
スペクトラム
| センサー | CMOSリニアイメージセンサー |
| 波長範囲 | 250〜400nm |
| 波長データインクリメント | 1nm |
| スペクトル帯域幅 | 約1nm（ハーフバンド幅） |
| 波長再現性 | ±0.8nm |
| 測定範囲 |
UVA*1,4: 315〜400nm / 0.25〜500 mW/cm² UVB*2,4: 280〜315nm / 0.3〜200 mW/cm² UVC*3,4: 250〜280nm / 0.2〜300 mW/cm² |
| 精度 |
±5%（10〜500 mW/cm²） ±10%（0.2〜10 mW/cm²） |
| 迷光 | -25dB最大*5 Stray light（ストレイライト）は、日本語で「迷光」 光学機器の鏡筒内部などで発生する不必要な光の散乱 |
| 積分時間範囲 | 1ms〜2,000ms |
| デジタル解像度 | 16ビット |
仕様
| キャプチャ機能 | ワンタイム / 連続 |
| 動作モード | スタンドアローン |
| 積分モード | 自動 / 手動 |
| ダークキャリブレーション | 自動 |
| 測定モード |
1. 基本モード 2. スペクトルモード 3. ロギングモード 4. ブラウザーモード 5. オプションモード |
| 測定機能 |
1. スペクトル放射照度 (mW/m², mW/cm²) 2. ジュール (mJ/cm²) 3. ピーク波長 (λp) 4. ピーク波長値 (λpV) 5. 積分時間 (I-Time) 6. UVAピーク波長 (λa-p) 7. UVAピーク波長値 (λa-v) 8. UVBピーク波長 (λb-p) 9. UVBピーク波長値 (λb-v) 10. UVCピーク波長 (λc-p) 11. UVCピーク波長値 (λc-v) |
| ディスプレイ | 4.3インチ 800x480静電容量タッチLCD |
| 最大ファイル数 | 約68,000ファイル @ 8GB SDカード (Excel形式) |
| バッテリー稼働時間 | 最大3時間（フル充電時） |
| 電源アダプター | 3200mAh（3.7V リチウムイオン充電池） |
| データ出力インターフェース | MicroSDカード（SD2.0、SDHC / 最大32GBまで対応） |
| データ形式 | Excel互換 |
| 動作温度 / 湿度 | 5〜35℃、相対湿度70%以下（結露しないこと） |
| 保管温度 / 湿度 | -10〜40℃、相対湿度70%以下（結露しないこと） |
| ブランド | UPRtek | OPTIMUM | OPTIMUM | GL Optic | ウシオ電機 | |
| モデル | UV-100N | 分光放射照度計 SRI-2000-UVC |
紫外分光放射照度計SRI-4000-UVC | 分光放射照度計 GL Specis5.0 Touch |
紫外線積算光量計 UIT-250 |
|
| 波長範囲 | 250-430nm | 200-780nm | 200-430nm |
200-1050nm モデルによる |
受光部交換で3波長域測定254/365/405nm 複数プローブが必要 |
|
| 修正履歴の追跡 | 〇 | X | X | X | X | |
| 測定範囲 | UVA 0.25-500 mW/cm2 UVB 0.3-200mW/cm2 UVC 0.2～300 mW/cm2 |
0.5-2500mW/cm2 |
0.2-1000mW/cm2 |
5-150000lx | 0-1000mw/cm2 | |
| ダークモード | オート | マニュアル | マニュアル | マニュアル | マニュアル | |
| 波長再現性 | 0.8nm | 0.5ｎm | 0.5mm | 0.5mm | 卓上型USR-45：2nm | |
| スペクトル幅 | 1nm | 6nm | 3nm | 2.5nm | 卓上型USR-45：2nm | |
| センサーヘッドの高さ | 20mm | 32mm | 32mm | 未表示(目測15mm) | 19mm | |
| APPとの接続 | x | x | x | x | x | |
| 機能 | ロギング・モード | 〇 | X | X | X | 〇最長時間：4分 |
| PCソフトウェア | ダウンロードサービス | X | 〇 | 〇 | 〇 | X |
| レポートのエクスポート | X | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |
紫外線暴露による健康影響 出展元：環境省
紫外線測定の問題点
一般照明とは異なり、紫外線業界には確立された仕様や世界標準、業界標準がない。
その結果、UVライト・アプリケーションには、以下のようなさまざまな機能と要件が求められる
幅広い波長域
様々な工業手順
特定の材料量子特性
可変光度
異なるUV処理時間
紫外線とは何かについての誤解。
UV（紫外線）はしばしば可視光線の「バイオレット」と間違われる。
しかし、紫外線のほとんどは可視光線より下（380nm以下）に存在し、人間の視覚では検出できない。
可変波長要件 – ポリマーのような材料のUV光による「硬化」や「硬化」のような用途では、ポリマー材料の分子特性によって異なる波長のUV光が必要となるため、柔軟なUV波長光測定装置が必要となります。
不十分なフィルター式UVメーター-UVメーター市場の80％を占めるフィルター式UVメーターは、現代の用途では正確な測定ができない。
また、異なる波長を測定するために補助的なセンサーを購入し、交換しなければならない。
最後に、これらのメーターは「数値」データしか示さない（スペクトルはない）。
非実用的なハイエンドの科学機器 –これらの機器は研究センターで使用され、非常に正確ですが、かさばり、遅く、高価で、生産ラインやその場限りの測定には適していません。
エネルギーの安定性と品質が不十分– 品質の低いUV光源は、強度が不十分で不安定なことがある。
UV光源に欠陥がある場合、UVアプリケーションで信頼性の低い、または一貫性のない結果につながる可能性があります。
UVライトの寿命が限られている- UVライトは常に高いエネルギーを照射するため、UV光源の寿命には限りがある。
これは、定期的な監視を必要とするゆっくりとした光の劣化である。
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