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半導体材料ガスリーク・ディテクターXP-703Dは、半導体材料ガス（半導体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素など) ）の超微量もれ検知に最適
半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。
半導体工場等毒性ガスを使用する現場でのガス漏洩検査に。水素関連設備の保安に。
微量の半導体材料ガスアルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素を超高感度で検知
小型・軽量、優れた操作性、しかも自動吸引式
検漏液（石鹸など）よりもはるかに高感度、操作は簡単
もれの確認は、ランプ・ブザー方式
光源電圧低下をBATT.ランプの消灯により自動表示
ハイブリッドICの採用で信頼性アップ
ブザースイッチ、イヤホン、ジャックを標準装備（イヤホンは別売り）
本質安全防爆構造対応
検知対象ガス |
アルシン |
ホスフィン |
ジボラン |
シラン |
水素 |
| - | AsＨ3 | pH3 | Ｂ2Ｈ6 | SiＨ4 | Ｈ2 |
検知可能漏洩量 |
1.0×10‐7 |
1.5×10‐7 |
0.5×10‐7 |
2.5×‐7 |
5×10‐7（Ｐa・m3/Ｓ） |
検知可能濃度 |
0.2 |
0.3 |
0.1 |
0.5 |
1.0 （ppm） |
半導体工場では、低濃度で人体へ影響が出るシラン、アルシン等の毒性ガスが材料ガスとして使われています。
そのため、これらの毒性ガスが万が一漏洩した場合、低濃度で検知できるガスセンサを搭載したガス検知警報器やガス検知器が必要とされています。
| 型式 | XP-703D | |||||||||||||||
| 検知対象ガス | 半導体材料ガス |
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| 検知原理 | 熱線型半導体式 | |||||||||||||||
| 採取方法 | 自動吸引式 | |||||||||||||||
| 検知可能濃度 |
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| 検知表示 | ブザー音の断続及びランプの点滅 | |||||||||||||||
| 応答時間 | 10秒以内 | |||||||||||||||
| 標準付属 | レザーケース、ドレンフィルタ フィルタエレメント、点検ガス 標準アタッチメント、単３形マンガン乾電池 |
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| オプション | イヤホン |
1年に一度は点検をお勧めします。
弊社へ製品をお送りいただき（送料はお客様負担）、製品を見てからのお見積りになります。
もしくは、FAXでご連絡ください。FAX:044-738-0623
送料+手配量が別途かかります。
センサーの交換について お問合せかFAXにてお見積りをご依頼をお願いします。
ISO対策の3点セット（校正証明書・試験成績書・トレサビリティ）の発行が可能です（有償）
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