半導体材料ガス検知器・半導体材料ガス探知器

半導体材料ガス検知器・半導体材料探知器

ハネウェル ホスフィンガス検知器 BW Solo Lite(PH3)

ホスフィンガス警報器。検知範囲：0～5ppm (分解能:0.1ppm)
視覚、振動、聴覚ブザー警報。ワンボタン操作。防塵・防水設計(IP66/68)。
セルフテスト機能搭載。海外防爆対応品。長寿命センサー。

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可搬卓上型ガス検知警報装置PGD-120(新コスモス電機)

持ち運び・設置が簡単。ガス種の変更やメンテナンスが簡単！　 校正書類の発行可(有償)
センサ（センサユニット）の交換によりさまざまなガス検知が可能
現場で簡単にメンテナンスができます。大学・研究期間などで多く採用されています
ガスの選択：酸素、一酸化炭素、硫化水素、水素、 可燃性ガス、毒性ガスなど　 ガス種の選択はこちら

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半導体材料ガス検知器XPS-7【新コスモス電機】

ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１台で様々な半導体材料ガスを検知可能。２段階で警報音
ロガー機能付きでPCでのデータ管理が可能 。 半導体材料ガスを選択ください。
アンモニア・シラン・ジクロルシラン・アルシン・ホスフィン・ジボラン・セレン化水素・ゲルマン・塩素・三フッ化塩素・塩化水素・フッ化水素・臭化水素・一酸化窒素・硫化水素・一酸化炭素・ジシラン・フッ素・オゾンなど。

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半導体材料ガス検知器XP-703DⅢ[新コスモス電機] 

半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。半導体工場等毒性ガスを使用する現場でのガス漏洩検査に。
水素関連設備の保安に　　校正書類の発行可(有償)
1台でさまざまな半導体材料ガス（アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など）に対応。