半導体材料ガス検知器・半導体材料ガス探知器

半導体材料ガス検知器・半導体材料探知器

半導体材料ガス検知器XPS-7【新コスモス電機】

ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１台で様々な半導体材料ガスを検知可能。２段階で警報音
ロガー機能付きでPCでのデータ管理が可能 。 半導体材料ガスを選択ください。
アンモニア・シラン・ジクロルシラン・アルシン・ホスフィン・ジボラン・セレン化水素・ゲルマン・塩素・三フッ化塩素・塩化水素・フッ化水素・臭化水素・一酸化窒素・硫化水素・一酸化炭素・ジシラン・フッ素・オゾンなど。

半導体材料ガス検知器XP-703DⅢ[新コスモス電機] 

半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。半導体工場等毒性ガスを使用する現場でのガス漏洩検査に。
水素関連設備の保安に　　校正書類の発行可能
1台でさまざまな半導体材料ガス（アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など）に対応。