持ち運び、設置が簡単
ガス種の変更やメンテナンスが簡単
センサユニットの交換によりさまざまなガスの検知可能。
可搬式卓上型の半導体材料ガス用ガス検知警報装置。
校正書類の発行可(有償)
・設置工事が不要
・移動、移設が簡単
・センサユニットの交換だけで大勝ガスの変更が可能
・可搬型で初めてNF3に対応
・誰でも簡単にメンテナンスができます
・交換部品は工具なしで誰でも簡単に交換可能
・センサユニットは校正済みでお届け
・アナログ4-20mA/警報時無電圧接点出力を標準搭載
・センサユニットの交換によりさまざまなガスを一台で検知可能な可搬式卓上型の半導体材料ガス用ガス検知警報装置。
・可搬型で初めてNF3に対応(NF3は専用タイプとなります(コンバータユニット付き)
・センサユニットは校正済みでお届けするので、現場でのガス校正が不要。
また、センサユニットの交換は工具不要で簡単。
・小型・軽量のコンパクト設計。
さらに、配線・取付工事が不要なので持ち運び・移動が簡単。
・アナログ4-20mA/警報時無電圧接点出力を標準搭載。
・充電池(オプション)搭載で、60分間コードレスで使用可能。
・吸引式1)検知部を引き出しボックスから外す
2)背面を開けセンサユニットを交換する
3)検知部をボックスにセットし電源を入れる
4)検知開始
大学、研究機関などの比較的小規模な設備での連続監視に。
型式 | PGD-120 | |
---|---|---|
検知原理 | 定電位電解式、熱線型半導体式、隔膜ガルバニ電池式 | |
検知対象ガス | ・半導体材料ガス (このセンサは半年に1回交換が必要) ・可燃性ガス (このセンサは3年に1回交換が必要) ・酸素 (このセンサは半年に1回交換が必要) |
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検知方式 | ポンプ吸引式 | |
検知範囲 | 仕様による | |
ガス濃度表示 | 液晶デジタル4桁表示(単位付き) 20分割バーグラフ | |
警報モード | 2段警報方式 | |
警報表示 | ブザー、警報ランプによる(ブザー有無選択可) | |
外部出力 | ガス濃度アナログ出力 | DC4-20mA |
警報出力 | ・1段目警報接点:無電圧1c接点 ・2段目警報接点:無電圧1c接点 ・故障警報用接点:無電圧1c接点 |
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接点容量 | AC125V、5A以下 | |
電源 | AC100V~220V | |
寸法 | W164×H210×D220mm | |
重量 | 約5kg | |
付属品 | メールコネクタ、フィルターエレメント(10枚)、電源ケーブル | |
オプション | 充電池(本体手配時指定要) |
※防爆仕様ではありません
ガス種 | フルスケール |
---|---|
SiH4 | 5/25ppm |
PH3 | 1ppm |
B2H6 | 500ppb |
AsH3 | 250ppb |
H2Se | 250ppb |
GeH4 | 1ppm |
HF | 10ppm |
BCl3 | 25ppm (※1) |
SiH2Cl2 | 25ppm |
Si2H6 | 25ppm |
F2 | 5ppm |
Cl2 | 5ppm |
HBr | 10ppm |
HCl | 5/25ppm |
CO | 250ppm |
ClF3 | 1ppm |
NO2 | 10ppm |
H2S | 50ppm |
O3 | 1ppm |
BF3 | 10ppm (※2) |
PF3 | 10ppm |
NH3 | 100ppm |
NF3 | 100ppm |
H2 | 1000ppm |
O2 | 25vol% |
※1 加水分解でHClガスにて検知
※2 加水分解でHFガスにて検知