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理研計器 スマートタイプガス検知部 GD-70D

理研計器 スマートタイプガス検知部 GD-70D理研計器 スマートタイプガス検知部 GD-70D理研計器 スマートタイプガス検知部 GD-70D

・検知原理に左右されないユニバーサルデザインを採用し、本体ユニットを共通化
・消費電力を従来の20%に削減(定電位電解式の場合) ・リユース可能な部品を採用
・構成材料の再資源化も可能で環境負担を低減
・各種国際規程に対応した設計
・CEマーキングに適合

  • センサーユニットを交換することで検知ガス種を変えることが可能な吸引タイプ設置型ガス検知器。
  • 半導体・液晶・太陽電池関連向けガス検知警報器に。
  • ■検知可能ガス100種類以上
  • ■お客様で簡単にセンサーユニットを交換可能
  • ■検知ガスを自由に選べてセンサー交換時の設定は不要
  • ■テフロンチューブを用意すれば簡単に吸引式検知器の設置が可能
  • ■各種通信方式対応:アナログ4~20mA出力/DC電力線搬送/Ethernet

弊社ではメーカー(理研計器)と協力して全国へ対応してます。 校正書類の発行可(有償)


用途

半導体・液晶・太陽電池関連向けガス検知警報器に

特長

  • ■検知原理に左右されないユニバーサルデザインを採用し、本体ユニットを共通化
  • ■消費電力を従来の20%に削減(定電位電解式の場合)
  • ■リユース可能な部品を採用
  • ■構成材料の再資源化も可能で環境負担を低減
  • ■アナログ4~20mA出力/DC電力線搬送/Ethernet等、各種通信方式対応
  • ■各種国際規程に対応した設計
  • ■CEマーキングに適合

仕様

検知方式 吸引式/シングルタイプ
検知原理 ニューセラミック式, 半導体式, 熱線型半導体式, 非分散型赤外線式, 定電位電解式, 隔膜ガルバニ電池式, 熱粒子化式
検知範囲 検知対象ガスによる
警報設定値 検知対象ガスによる
警報の種類 ガス警報、故障警報
警報動作 1st:ALM1 ランプ点灯(赤)
2nd:ALM2 ランプ点灯(赤)
防爆の種類 非防爆構造
CEマーキング EMC指令、RoHS指令
電源 DC24V±10%
外形寸法 約70(W)×120(H)×145(D)mm (突起部は除く)
質量 約0.9kg
使用温度範囲 0~40℃(急変なきこと)
使用湿度範囲 30~70%RH(結露なきこと)
※搭載センサにより異なる場合があります
検知対象ガス 1-C6H12, ALD, AsH3, B2H6, Br2, BTBAS, C10H22, C2F4, C2H2, C2H2CL2, C2H4, C2H4O2, C2H5OH, C2H6, C2HCL3, C3F6, C3H6, C3H6O, C3H8, C4F6, C4H6, C5F8, C5H5N, C5H8O, C6H12, C6H12O3, C7H8, C8H16, C8H18, CH2CL2, CH2O2, CH3CN, CH3OH, CH3SiH3, CH4, CL2, CLF3, CO, COF2, COS, CTFE, D2, DEA, DEMS, DMA, DMAC, DMDMOS, DMF, EDC, EMA, EO, EtAc, F2, GeH4, H2, H2O2, H2S, H2Se, HBr, HCL, HCN, HF, HFE7200, Hhfac, HI, HMDS, HMDSO, HNO3, i-C4H10, i-C4H8, I2, IPA, LAE, LPG, MMtA, n-C6H14, N2H4, N2O, NF3, NH3, NMP, NO, NO2, O2, O3, OK-73, OMCTS, PF3, PGMMEAc, PH3, QMS, R-123, R-134a, R-152A, R-245fa, R-32, R-407E, R-41, R-410A, Si2H6, Si3H9N, SiH4, SiO2, SO2, TEB, TEOP, TEOS, TMA, TMB, TMOP, TMP, TMS, TRIMOS, TRIMS, VCM, VDF

検知対象ガス例

対象ガス 化学式 理研計器標準 ACGIH
検知範囲 警報設定値 許容濃度
ホスフィン PH3 0~0.15ppm 0.05ppm 0.05ppm
ジボラン B2H6 0~0.3ppm 0.1ppm 0.1ppm
シラン SiH4 0~15ppm 5ppm 5ppm
三フッ化窒素 NF3 0~30ppm 10ppm 10ppm
塩化水素 HCI 0~6ppm 2ppm 2ppm
フッ化水素 HF 0~1.5ppm 0.5ppm 0.5ppm
テトラエトキシシラン TEOS 0~15ppm 10ppm 10ppm
臭化水素 HB「 0~6ppm 2ppm 2ppm
塩素 Cl2 0~0.3ppm 0.1ppm 0.1ppm
フッ素 F2 0~3ppm 1ppm 0.1ppm
三フッ化塩素 CIF3 0~0.3ppm 0.1ppm 0.1ppm
オゾン 03 0~0.6ppm 0.2ppm 0.1ppm
一酸化窒素 NO 0~100ppm 25ppm 25ppm
アルシン AsH3 0~50ppb 10ppb 5ppb
一酸化炭素 co 0~75ppm 25ppm 25ppm
アンモニア NH3 0~75ppm 25ppm 25ppm
ジシラン Si2H6 0~15ppm 5ppm
ゲルマン GeH4 0~0.8ppm 0.2ppm 0.2ppm
セレン化水素 H2Se 0~0.2ppm 0.05ppm 0.05ppm
臭素 Br2 0~1ppm 0.3ppm 0.1ppm
二酸化窒素 N02 0~9ppm 3ppm 0.2ppm
二酸化硫黄 s02 0~6ppm 2ppm 0.25ppm
モノメチルアミン(MMtA) CH3NH2 0~15ppm 5ppm 5ppm
ジメチルアミン(OMA) (CH3)2NH 0~15ppm 5ppm 5ppm
トリメチルアミン(TMA) (CH3)3N 0~15ppm 5ppm 5ppm
ジエチルアミン(DEA) (CH3CH2)2NH 0~15ppm 5ppm 5ppm
酸素 02 0~25vol% 18vol%
水素 H2 0~2000ppm 500ppm
一酸化二窒素 N20 0~500ppm 50ppm 50ppm
シアン化水素 HCN 0~15ppm 4ppm 4.7ppm

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