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理研計器 スマートタイプガス検知部 GD-70D

理研計器 スマートタイプガス検知部 GD-70D理研計器 スマートタイプガス検知部 GD-70D理研計器 スマートタイプガス検知部 GD-70D

センサーユニットを交換することで検知ガス種を変えることが可能な、吸引タイプ設置型ガス検知器。
半導体・液晶・太陽電池関連向けガス検知警報器に。
校正書類の発行可(有償)

  • ■検知可能ガス100種類以上
  • ■お客様で簡単にセンサーユニットを交換可能
  • ■検知ガスを自由に選べてセンサー交換時の設定は不要
  • ■テフロンチューブを用意すれば簡単に吸引式検知器の設置が可能
  • ■各種通信方式対応：アナログ4～20mA出力/DC電力線搬送/Ethernet
  • ■リユース可能な部品、再資源化が可能な構成材料等、環境負担を低減
  • ■CEマーキング適合等、各種国際規格に対応

＊弊社は正規ルートです。安心のアフターサービス

メーカー(理研計器)と協力して全国対応

用途

半導体・液晶・太陽電池関連向けガス検知警報器に

特長

  • ■検知原理に左右されないユニバーサルデザインを採用し、本体ユニットを共通化
  • ■消費電力を従来の20%に削減（定電位電解式の場合）
  • ■リユース可能な部品を採用
  • ■構成材料の再資源化も可能で環境負担を低減
  • ■アナログ4～20mA出力/DC電力線搬送/Ethernet等、各種通信方式対応
  • ■各種国際規程に対応した設計
  • ■CEマーキングに適合

仕様

検知方式 吸引式/シングルタイプ
検知原理 ニューセラミック式, 半導体式, 熱線型半導体式, 非分散型赤外線式, 定電位電解式, 隔膜ガルバニ電池式, 熱粒子化式
検知範囲 検知対象ガスによる
警報設定値 検知対象ガスによる
警報の種類 ガス警報、故障警報
警報動作 1st：ALM1 ランプ点灯（赤）
2nd：ALM2 ランプ点灯（赤）
防爆の種類 非防爆構造
CEマーキング EMC指令、RoHS指令
電源 DC24V±10%
外形寸法 約70(W)×120(H)×145(D)mm （突起部は除く）
質量 約0.9kg
使用温度範囲 0～40℃（急変なきこと）
使用湿度範囲 30～70%RH（結露なきこと）
※搭載センサにより異なる場合があります
検知対象ガス 1-C6H12, ALD, AsH3, B2H6, Br2, BTBAS, C10H22, C2F4, C2H2, C2H2CL2, C2H4, C2H4O2, C2H5OH, C2H6, C2HCL3, C3F6, C3H6, C3H6O, C3H8, C4F6, C4H6, C5F8, C5H5N, C5H8O, C6H12, C6H12O3, C7H8, C8H16, C8H18, CH2CL2, CH2O2, CH3CN, CH3OH, CH3SiH3, CH4, CL2, CLF3, CO, COF2, COS, CTFE, D2, DEA, DEMS, DMA, DMAC, DMDMOS, DMF, EDC, EMA, EO, EtAc, F2, GeH4, H2, H2O2, H2S, H2Se, HBr, HCL, HCN, HF, HFE7200, Hhfac, HI, HMDS, HMDSO, HNO3, i-C4H10, i-C4H8, I2, IPA, LAE, LPG, MMtA, n-C6H14, N2H4, N2O, NF3, NH3, NMP, NO, NO2, O2, O3, OK-73, OMCTS, PF3, PGMMEAc, PH3, QMS, R-123, R-134a, R-152A, R-245fa, R-32, R-407E, R-41, R-410A, Si2H6, Si3H9N, SiH4, SiO2, SO2, TEB, TEOP, TEOS, TMA, TMB, TMOP, TMP, TMS, TRIMOS, TRIMS, VCM, VDF

検知対象ガス例

対象ガス 化学式 理研計器標準 ACGIH
検知範囲 警報設定値 許容濃度
ホスフィン PH3 0~0.15ppm 0.05ppm 0.05ppm
ジボラン B2H6 0~0.3ppm 0.1ppm 0.1ppm
シラン SiH4 0~15ppm 5ppm 5ppm
三フッ化窒素 NF3 0~30ppm 10ppm 10ppm
塩化水素 HCI 0~6ppm 2ppm 2ppm
フッ化水素 HF 0~1.5ppm 0.5ppm 0.5ppm
テトラエトキシシラン TEOS 0~15ppm 10ppm 10ppm
臭化水素 HB「 0~6ppm 2ppm 2ppm
塩素 Cl2 0~0.3ppm 0.1ppm 0.1ppm
フッ素 F2 0~3ppm 1ppm 0.1ppm
三フッ化塩素 CIF3 0~0.3ppm 0.1ppm 0.1ppm
オゾン 03 0~0.6ppm 0.2ppm 0.1ppm
一酸化窒素 NO 0~100ppm 25ppm 25ppm
アルシン AsH3 0~50ppb 10ppb 5ppb
一酸化炭素 co 0~75ppm 25ppm 25ppm
アンモニア NH3 0~75ppm 25ppm 25ppm
ジシラン Si2H6 0~15ppm 5ppm ー
ゲルマン GeH4 0~0.8ppm 0.2ppm 0.2ppm
セレン化水素 H2Se 0~0.2ppm 0.05ppm 0.05ppm
臭素 Br2 0~1ppm 0.3ppm 0.1ppm
二酸化窒素 N02 0~9ppm 3ppm 0.2ppm
二酸化硫黄 s02 0~6ppm 2ppm 0.25ppm
モノメチルアミン(MMtA) CH3NH2 0~15ppm 5ppm 5ppm
ジメチルアミン(OMA) (CH3)2NH 0~15ppm 5ppm 5ppm
トリメチルアミン(TMA) (CH3)3N 0~15ppm 5ppm 5ppm
ジエチルアミン(DEA) (CH3CH2)2NH 0~15ppm 5ppm 5ppm
酸素 02 0~25vol% 18vol% ー
水素 H2 0~2000ppm 500ppm ー
一酸化二窒素 N20 0~500ppm 50ppm 50ppm
シアン化水素 HCN 0~15ppm 4ppm 4.7ppm

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