・検知原理に左右されないユニバーサルデザインを採用し、本体ユニットを共通化
・消費電力を従来の20%に削減(定電位電解式の場合) ・リユース可能な部品を採用
・構成材料の再資源化も可能で環境負担を低減
・各種国際規程に対応した設計
・CEマーキングに適合
弊社ではメーカー(理研計器)と協力して全国へ対応してます。 校正書類の発行可(有償)
半導体・液晶・太陽電池関連向けガス検知警報器に
検知方式 | 吸引式/シングルタイプ |
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検知原理 | ニューセラミック式, 半導体式, 熱線型半導体式, 非分散型赤外線式, 定電位電解式, 隔膜ガルバニ電池式, 熱粒子化式 |
検知範囲 | 検知対象ガスによる |
警報設定値 | 検知対象ガスによる |
警報の種類 | ガス警報、故障警報 |
警報動作 | 1st:ALM1 ランプ点灯(赤) 2nd:ALM2 ランプ点灯(赤) |
防爆の種類 | 非防爆構造 |
CEマーキング | EMC指令、RoHS指令 |
電源 | DC24V±10% |
外形寸法 | 約70(W)×120(H)×145(D)mm (突起部は除く) |
質量 | 約0.9kg |
使用温度範囲 | 0~40℃(急変なきこと) |
使用湿度範囲 | 30~70%RH(結露なきこと) ※搭載センサにより異なる場合があります |
検知対象ガス | 1-C6H12, ALD, AsH3, B2H6, Br2, BTBAS, C10H22, C2F4, C2H2, C2H2CL2, C2H4, C2H4O2, C2H5OH, C2H6, C2HCL3, C3F6, C3H6, C3H6O, C3H8, C4F6, C4H6, C5F8, C5H5N, C5H8O, C6H12, C6H12O3, C7H8, C8H16, C8H18, CH2CL2, CH2O2, CH3CN, CH3OH, CH3SiH3, CH4, CL2, CLF3, CO, COF2, COS, CTFE, D2, DEA, DEMS, DMA, DMAC, DMDMOS, DMF, EDC, EMA, EO, EtAc, F2, GeH4, H2, H2O2, H2S, H2Se, HBr, HCL, HCN, HF, HFE7200, Hhfac, HI, HMDS, HMDSO, HNO3, i-C4H10, i-C4H8, I2, IPA, LAE, LPG, MMtA, n-C6H14, N2H4, N2O, NF3, NH3, NMP, NO, NO2, O2, O3, OK-73, OMCTS, PF3, PGMMEAc, PH3, QMS, R-123, R-134a, R-152A, R-245fa, R-32, R-407E, R-41, R-410A, Si2H6, Si3H9N, SiH4, SiO2, SO2, TEB, TEOP, TEOS, TMA, TMB, TMOP, TMP, TMS, TRIMOS, TRIMS, VCM, VDF |
対象ガス | 化学式 | 理研計器標準 | ACGIH | |
検知範囲 | 警報設定値 | 許容濃度 | ||
ホスフィン | PH3 | 0~0.15ppm | 0.05ppm | 0.05ppm |
ジボラン | B2H6 | 0~0.3ppm | 0.1ppm | 0.1ppm |
シラン | SiH4 | 0~15ppm | 5ppm | 5ppm |
三フッ化窒素 | NF3 | 0~30ppm | 10ppm | 10ppm |
塩化水素 | HCI | 0~6ppm | 2ppm | 2ppm |
フッ化水素 | HF | 0~1.5ppm | 0.5ppm | 0.5ppm |
テトラエトキシシラン | TEOS | 0~15ppm | 10ppm | 10ppm |
臭化水素 | HB「 | 0~6ppm | 2ppm | 2ppm |
塩素 | Cl2 | 0~0.3ppm | 0.1ppm | 0.1ppm |
フッ素 | F2 | 0~3ppm | 1ppm | 0.1ppm |
三フッ化塩素 | CIF3 | 0~0.3ppm | 0.1ppm | 0.1ppm |
オゾン | 03 | 0~0.6ppm | 0.2ppm | 0.1ppm |
一酸化窒素 | NO | 0~100ppm | 25ppm | 25ppm |
アルシン | AsH3 | 0~50ppb | 10ppb | 5ppb |
一酸化炭素 | co | 0~75ppm | 25ppm | 25ppm |
アンモニア | NH3 | 0~75ppm | 25ppm | 25ppm |
ジシラン | Si2H6 | 0~15ppm | 5ppm | ー |
ゲルマン | GeH4 | 0~0.8ppm | 0.2ppm | 0.2ppm |
セレン化水素 | H2Se | 0~0.2ppm | 0.05ppm | 0.05ppm |
臭素 | Br2 | 0~1ppm | 0.3ppm | 0.1ppm |
二酸化窒素 | N02 | 0~9ppm | 3ppm | 0.2ppm |
二酸化硫黄 | s02 | 0~6ppm | 2ppm | 0.25ppm |
モノメチルアミン(MMtA) | CH3NH2 | 0~15ppm | 5ppm | 5ppm |
ジメチルアミン(OMA) | (CH3)2NH | 0~15ppm | 5ppm | 5ppm |
トリメチルアミン(TMA) | (CH3)3N | 0~15ppm | 5ppm | 5ppm |
ジエチルアミン(DEA) | (CH3CH2)2NH | 0~15ppm | 5ppm | 5ppm |
酸素 | 02 | 0~25vol% | 18vol% | ー |
水素 | H2 | 0~2000ppm | 500ppm | ー |
一酸化二窒素 | N20 | 0~500ppm | 50ppm | 50ppm |
シアン化水素 | HCN | 0~15ppm | 4ppm | 4.7ppm |