半導体工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に。
ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、1台で様々な半導体材料ガスを検知可能。
カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減。
重さわずか1.3kgの小型•軽量タイプ。
ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。
アルシン【AsH3】,アンモニア【NH3】,一酸化炭素【CO】,一酸化窒素【NO】,塩化水素【HCI】,塩素【Cl2】,オゾン【O3】,三フッ化塩素【ClF3】,ジクロルシラン【SiH2Cl2】,ジシラン【Si2H6】,ジボラン【B2H6】,臭化水素【HBr】,セレン化水素【H2Se】,二酸化硫黄【SO2】,二酸化窒素【NO2】,半導体材料ガス,フッ化水素【HF】,フッ素【F2】,ホスフィン【PH3】,モノゲルマン【GeH4】,モノシラン【SiH4】,硫化水素【H2S】
製品名 | 価格 |
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商品コード G-113
新コスモス電機 半導体材料ガス警報検知器XPS-7
※半導体材料ガスを指定ください。
納期をご確認ください。
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税別 216,000円 (税込 237,600円) |
商品コード G-113-S
新コスモス電機 XPS-7用センサユニット
※追加用。
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税別 25,000円 (税込 27,500円) |
ガス種・フルスケール・警報ポイントの設定は自動設定で面倒な操作は不要です。
これによりメンテナンス時間やコストを大幅に削減できます。
(センサユニットは6ヶ月交換です)
持ち帰り点検校正や現場での校正作業が不要
従来製品の約1/2。軽量化を実現し、より一層持ち運びが便利
ガス濃度が低いと断続音、高くなると断続音の間隔が短くなり、連続音に変化します
半導体材料ガス警報検知器XPS-7は、ロガー機能付でPCでのデータ管理が可能
測定ガス | フルスケール | 警報設定値 | 単位 | |
1段目 | 2段目 | |||
アンモニア | 100 | 12 | 25 | ppm |
シラン | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
ジクロルシラン | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
アルシン | 250 | 25 | 50 | ppb |
ホスフィン | 1 | 0.15 | 0.3 | ppm |
ジボラン | 500 | 50 | 100 | ppb |
セレン化水素 | 250 | 25 | 50 | ppb |
ゲルマン | 1 | 0.1 | 0.2 | ppm |
塩素 | 5 | 0.25 | 0.5 | ppm |
三フッ化塩素 | 1 | 0.05 | 0.1 | ppm |
塩化水素 | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
フッ化水素 | 10 | 1.5 | 3 | ppm |
臭化水素 | 10 | 1.5 | 3 | ppm |
一酸化窒素 | 100 | 12 | 25 | ppm |
硫化水素 | 50 | 5 | 10 | ppm |
一酸化炭素 | 250 | 12.5 | 25 | ppm |
ジシラン | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
フッ素 | 5 | 0.5 | 1 | ppm |
オゾン | 1 | 0.05 | 0.1 | ppm |
半導体工場では、低濃度で人体へ影響が出るシラン、アルシン等の毒性ガスが材料ガスとして使われています。
そのため、これらの毒性ガスが万が一漏洩した場合、低濃度で検知できるガスセンサを搭載したガス検知警報器やガス検知器が必要とされています。
検知対象ガス | 半導体材料ガス | |
検知原理 | 定電位電解式 | |
ガス採気方法 | ポンプ吸引式 | |
検知範囲 | 仕様による | |
分解能 | フルスケールの100分の1表示 | |
指示精度*1 | FS±10%以内 | |
警報モード | 2段警報方式 | |
警報方式 | ブザー(断続音)、アラームランプ点滅 | |
応答時間*1 | 60秒以内(60%応答) | |
濃度表示方式 | LCDデジタル表示 | |
使用温度範囲 | 0~40℃ | |
電源 | 単3形アルカリ乾電池4本*2 またはAC専用アダプタ(オプション) |
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電池使用時間 | 連続12時間以上(アルカリ乾電池にて無警報時、20℃の場合) | |
寸法 | 本体 W62×H150×D128㎜(突起部のぞく) | |
重量 | 約1.3kg![]() |
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付属品 | ショルダーベルト、単3アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚 | |
オプション | AC専用アダプタ (AC100V/DC6V) | |
センサ専用通電台 * | ||
ログデータ収集キット |
半年に一度は点検をお勧めします。
弊社へ製品をお送りいただき(送料はお客様負担)、製品を見てからのお見積りになります。
もしくは、FAXでご連絡ください。FAX:044-738-0623
送料+手配量が別途かかります。
センサーの交換について お問合せかFAXにてお見積りをご依頼をお願いします。
ISO対策の3点セット(校正証明書・試験成績書・トレサビリティ)の発行が可能です(有償)