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後継機種：新コスモス電機 半導体材料ガス検知器XPS-7II
| 検知対象ガス | 半導体材料ガス | |
| 検知原理 | 定電位電解式 | |
| ガス採気方法 | ポンプ吸引式 | |
| 検知範囲 | 仕様による | |
| 分解能 | フルスケールの100分の1表示 | |
| 指示精度*1 | FS±10%以内 | |
| 警報モード | 2段警報方式 | |
| 警報方式 | ブザー（断続音）、アラームランプ点滅 | |
| 応答時間*1 | 60秒以内（60%応答） | |
| 濃度表示方式 | LCDデジタル表示 | |
| 使用温度範囲 | 0～40℃ | |
| 電源 | 単3形アルカリ乾電池4本*2 またはAC専用アダプタ（オプション） |
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| 電池使用時間 | 連続12時間以上（アルカリ乾電池にて無警報時、20℃の場合） | |
| 寸法 | 本体 W62×H150×D128㎜（突起部のぞく） | |
| 重量 | 約1.3kg |
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| 付属品 | ショルダーベルト、単3アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚 | |
| オプション | AC専用アダプタ （AC100V/DC6V） | |
| センサ専用通電台 * | ||
| ログデータ収集キット | ||
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