半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。半導体工場等毒性ガスを使用する現場でのガス漏洩検査に。
水素関連設備の保安に 校正書類の発行可(有償)
1台でさまざまな半導体材料ガス(アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など)に対応。
1台で様々な半導体材料ガスを検知可能。NF3検知に対応した世界最小のポータブルガス検知器。
検知対象ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、メンテナンス時間・コストを大幅に削減!
ガス検知器の校正不要。ガス濃度に連動する警報音。ロガー機能付きでPCでのデータ管理が可能。
持ち運び・設置が簡単。ガス種の変更やメンテナンスが簡単! 校正書類の発行可(有償)
センサ(センサユニット)の交換によりさまざまなガス検知が可能
現場で簡単にメンテナンスができます。大学・研究期間などで多く採用されています
ガスの選択:酸素、一酸化炭素、硫化水素、水素、
可燃性ガス、毒性ガスなど ガス種の選択はこちら
ホスフィンガス警報器。検知範囲:0~5ppm (分解能:0.1ppm)
視覚、振動、聴覚ブザー警報。ワンボタン操作。防塵・防水設計(IP66/68)。
セルフテスト機能搭載。海外防爆対応品。長寿命センサー。