新コスモス電機半導体材料ガス検知器XPS-7IIがおすすめ

新コスモス電機半導体材料ガス検知器XPS-7II

世界最小クラスのNF₃検知器　センサユニット交換式　校正不要

1台で様々な半導体材料ガスを検知可能。
NF₃検知に対応した世界最小のポータブルガス検知器。
日常点検や測定データの管理が効率的になるXai対応。

▶ 用途　　▶ 検知対象ガス　　▶ 特長　　▶ 仕様

検知対象ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、
メンテナンス時間・コストを大幅に削減！
ガス検知器の校正も不要。

＊弊社は正規ルートです。安心のアフターサービス

新コスモス電機半導体材料ガス検知器XPS-7IIの用途

半導体工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に。

新コスモス電機半導体材料ガス検知器XPS-7IIの指定可能ガス

検知対象ガス：アルシン【AsH3】,アンモニア【NH3】,一酸化炭素【CO】,一酸化窒素【NO】,塩化水素【HCI】,塩素【Cl2】,オゾン【O3】,三フッ化塩素【ClF3】,ジクロルシラン【SiH2Cl2】,ジシラン【Si2H6】,ジボラン【B2H6】,臭化水素【HBr】,セレン化水素【H2Se】,二酸化硫黄【SO2】,二酸化窒素【NO2】,半導体材料ガス,フッ化水素【HF】,フッ素【F2】,ホスフィン【PH3】,モノゲルマン【GeH4】,モノシラン【SiH4】,硫化水素【H2S】,三フッ化窒素【NF3H2S】

新コスモス電機半導体材料ガス検知器XPS-7IIの特長

■ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１台で様々な半導体材料ガスを検知可能。

■カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減。

■NF3検知対応。NF3検知に対応したポータブルタイプ吸引式ガス検知器としては世界最小サイズ。

■重さわずか1.3kgの小型・軽量タイプ。

■ガス濃度の変化により、警報音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。

■乾電池・AC電源の両方で動作可能

■ガス濃度に連動する警報音

■ロガー機能付きなのでPCによるデータ管理が可能

新コスモス電機半導体材料ガス検知器XPS-7IIの仕様

型式	XPS-7II
検知対象ガス	半導体材料ガス
ガス採気方式	自動吸引式
検知原理	定電位電解式
検知範囲	仕様による
分解能※1	フルスケールの100分の1または200分の1表示
指示精度※2	FS±10％以内
警報方式	ブザー（断続音）、アラームランプ点滅
応答時間	60秒以内（60％応答）
使用温度範囲	0℃～+40℃
電源	単3形アルカリ乾電池4本、またはAC専用アダプタ（オプション）
連続使用時間※3	アルカリ乾電池使用時：12時間以上※4（無警報時、20℃の場合）
外形寸法	W62×H150×D128mm（突起部を除く）
重量	約1.3kg
標準付属品	ショルダーベルト、単3形アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚
オプション※5	AC専用アダプタ（AC100V～240V/DC6V）、センサ専用通電台、ログデータ収集キット

※1 ガス種によってフルスケールが異なります。
※2 同一測定条件による。
※3 環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場合があります。
※4 NF3センサユニット搭載時は8時間以上となります。
※5 AC専用アダプタ、ログデータ収集キットセンサ専用通電台はCE対象外になります。