クリーンルームから室内環境・大気・チャンバ内高濃度曝露実験や、作業環境まで高い粒子濃度に対応。
校正書類の発行可(有償)
高濃度対応
最大可測濃度は70,800,000/cf・2,501,800,000/m2・118,000/秒)、クリーンルームから外気、室内、作業現場など高粒子濃度環境まで対応します。もともと汚れにくいセンサ構造ですが、さすがに超高濃度でのセンサ汚染時の対応として校正済みセンサを予備として 準備(カウンタ1台につきセンサは最大3台まで)し、現場で交換できるようにしました。
測定値は設定粒径以上の個数の合計値(Σ)あるいは粒径間値(Δ)として表示。
リアルタイムモード
パーティクルカウンターの画面に1秒ごとの個数の推移をグラフ描画。
PMモード(質量濃度換算)
想定された設定粒径以下の個数に任意の密度、屈折率を入力することで質量に換算してµg/m2で表示。
0.3µm以上の粒子の粒径と個数を測定。
外したセンサはサービスセンターへ戻してしっかりクリーニング可能
粒子径分布情報の取得と粒子出現の検出と粒子濃度の変動・変化量を把握可能
パーティクルカウンタはフォトメータと異なり、粒径分解能があり、粒子径分布情報を得ることができ、かつ短時間(最短1秒ごと)で粒子出現の検出、粒子濃度の変動・変化量を把握することができます。
場所を選ばずに使用可能
クリーンルームの中でばかり使われていたパーティクルカウンタを場所を選ばず使えるようにしました。
壁面や柱への設置、卓上に置いての使用が可能です。
型式 | Model 5300P(旧型式 5301P-LF) |
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測定レンジ | 0.3µm~10.0µm以上 |
出荷時粒径設定(0.3µmタイプ) | 0.3、0.5、1.0、2.5、5.0、10.0µm |
ユーザーセレクタブル設定 | 最小可測粒径は固定、最小~最大可測粒径範囲内で0.01µmステップで粒径設定が可能(校正は出荷時粒径のみ) |
光源 | 半導体レーザ |
吸引流量(1分間当たり) | 1.2/分、内蔵フローコントローラによる自動流量検出・Pは内蔵ポンプ自動流量調整、チューブ延長 5m以内(大気圧下) |
ポンプ(真空源) | ポンプ内蔵 |
最大可測濃度 | 70,800,000個/CF(2,500,000/L、118,000/秒) 10%同時通過係数損失以内。 |
計数効率・偽計数 | 0.3µmPSLにて50%±20% at0.3µm、0.45µmPSLにて100%±10% / 0.3µm・1カウント/60分間 |
モード | マニュアル、オートマチック、粒径間値(差分)/ 合計値、質量濃度換算、リアルタイムメーター |
アラーム | カウント値、コンセントレーション、µg、温度・湿度にて設定(ビープ音、画面に赤色表示) オープンコレクタアラーム外部出力(ファクトリーオプション) |
メモリー/ログインターバル | 45,000データ(画面にて呼び出し、PCへ出力、USBメモリにて読み出し可能)/ ホールドタイムなしで1秒~99時間 |
ロケーション・レシピ設定 | 500ロケーション(20文字インデクス入力可)・150レシピ |
ユーザーインターフェース | ディスプレイ(4.3in.WQVAG カラータッチスクリーン)、アイコンタッチ操作 USBメモリにてセットアップ内容コピー可能(同一モデルどうし)、動作オンオフは5000シリーズは電源接続でオン、またはPCにて |
コミュニケーション | USB、Ethernet、Modbus RS485、RS232C(オプション) |
電源 | 110-240VAC 50/60Hz universal in-lime power surply バックアップ電池のみ内蔵 |
付属品 | 等速吸引プローブ、パージフィルタ、USBケーブル(1.8m)、ACアダプタ(15V2A-100~240VAC)検査成績書、校正証明書、マニュアル |
温湿度センサ(オプション) | オプション Model EE80014A(0-60℃±0.5℃、15-90%±2%) |
プリンタ(オプション) | 【別売】専用感熱プリンタ Model AS99011 |
多点監視ソフトウェア(オプション) | AMOSYS2000 Ethernet 経由 8ポイントまで |
キャリングケース(オプション) | 別売 Model AS9901ST ハードプラスティック製 |
寸法/重量 | W113×D58×H177 / 1.23kg |
ファクトリーオプション | 校正済み予備センサ、アラーム外部表示高輝度ランプ、アラーム出力オープンコレクタ、RS232-C |
使用環境 | 5℃-40℃ / 相対湿度 20%-95%(結露なきこと) |
保存環境 | 0℃-50℃(結露なきこと) |
規格・保証 | ISO 21501-4 JIS B9921 1年間ただし、光源は2年間 |
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