高濃度リモートパーティクルカウンタ Model 5300P

パーティクルカウンター 5300P

クリーンルームから室内環境・大気・チャンバ内高濃度曝露実験や、作業環境まで高い粒子濃度に対応。

校正書類の発行可(有償)

  • ■最大可測濃度:約70,800,000個/CF(2,500個/cc)
  • ■0.3µm以上の粒子の粒径と個数を測定
  • ■付属ソフトでパソコン直結してデータ集収・グラフ描画
  • ■壁面や柱への設置、卓上に置いての使用が可能

特長

高濃度リモートパーティクルカウンタ Model 5300Pは、Low Flow・超高濃度対応を特長とするリモート型パーティクルカウンタです。

クリーンルームのような清浄環境だけでなく、作業環境・室内環境・大気・チャンバー内高濃度環境試験までを想定したシリーズとして案内されています。

最大70,800,000個/CF(2,500個/cc)の高濃度対応により、一般的な粒子計では飽和しやすい条件でも測定しやすく、定点監視用途に適した構成です。

高濃度対応

最大可測濃度は70,800,000/cf・2,501,800,000/m2・118,000/秒)、クリーンルームから外気、室内、作業現場など高粒子濃度環境まで対応します。もともと汚れにくいセンサ構造ですが、さすがに超高濃度でのセンサ汚染時の対応として校正済みセンサを予備として 準備(カウンタ1台につきセンサは最大3台まで)し、現場で交換できるようにしました。

測定値は設定粒径以上の個数の合計値(Σ)あるいは粒径間値(Δ)として表示。

リアルタイムモード

パーティクルカウンターの画面に1秒ごとの個数の推移をグラフ描画。

PMモード(質量濃度換算)

想定された設定粒径以下の個数に任意の密度、屈折率を入力することで質量に換算してµg/m2で表示。
0.3µm以上の粒子の粒径と個数を測定。

外したセンサはサービスセンターへ戻してしっかりクリーニング可能

粒子径分布情報の取得と粒子出現の検出と粒子濃度の変動・変化量を把握可能

パーティクルカウンタはフォトメータと異なり、粒径分解能があり、粒子径分布情報を得ることができ、かつ短時間(最短1秒ごと)で粒子出現の検出、粒子濃度の変動・変化量を把握することができます。

場所を選ばずに使用可能

クリーンルームの中でばかり使われていたパーティクルカウンタを場所を選ばず使えるようにしました。
壁面や柱への設置、卓上に置いての使用が可能です。

付属ソフトウェア IMS(Instruments Management Software)

高濃度リモートパーティクルカウンタ Model 5300Pは、測定だけで終わらず、データの収集・保存・監視まで含めた運用を支援します。

PDFにはIMSソフトウェア付属とあり、パソコン上でのトレンド表示やグラフ確認を前提とした構成になっています。

また、AMOSYS-2000 による Ethernet経由の多点監視にも対応しており、複数箇所の粒子状況をまとめて監視したい現場にも適しています。

  • ■ パーソナルコンピュータと接続、ネットワーク経由でパーティクルカウンタを遠隔操作
  • ■ データダウンロード、グラフ描画
  • ■ リモートコンフィグレーションモードで、お手元でのファームウエアのアップグレードが可能。
    サービス拠点と繋いで現地でのパーティクルカウンタの診断を行います。
付属ソフトウェア IMS

仕様

5300Pは、5300/5500/5300P/5500Pシリーズの一員で、リモート設置向けの高濃度対応モデルです。

PDFの仕様表には、0.3μmからの粒子計測対応、

Low Flow、超高濃度対応、USB・Ethernet・各種インターフェースが示されており、装置組込や定点監視システムへの組み込みにも適した仕様です。

常時監視、設備周辺の粒子管理、試験装置内の粒子評価など、継続的なモニタリングが求められる用途で有効です。

型式 Model 5300P(旧型式 5301P-LF)
測定レンジ 0.3µm~10.0µm以上
出荷時粒径設定(0.3µmタイプ) 0.3、0.5、1.0、2.5、5.0、10.0µm
ユーザーセレクタブル設定 最小可測粒径は固定、最小~最大可測粒径範囲内で0.01µmステップで粒径設定が可能(校正は出荷時粒径のみ)
光源 半導体レーザ
吸引流量(1分間当たり) 1.2/分、内蔵フローコントローラによる自動流量検出・Pは内蔵ポンプ自動流量調整、チューブ延長 5m以内(大気圧下)
ポンプ(真空源) ポンプ内蔵
最大可測濃度 70,800,000個/CF(2,500,000/L、118,000/秒) 10%同時通過係数損失以内。
計数効率・偽計数 0.3µmPSLにて50%±20%  at0.3µm、0.45µmPSLにて100%±10% / 0.3µm・1カウント/60分間
モード マニュアル、オートマチック、粒径間値(差分)/ 合計値、質量濃度換算、リアルタイムメーター
アラーム カウント値、コンセントレーション、µg、温度・湿度にて設定(ビープ音、画面に赤色表示) オープンコレクタアラーム外部出力(ファクトリーオプション)
メモリー/ログインターバル 45,000データ(画面にて呼び出し、PCへ出力、USBメモリにて読み出し可能)/ ホールドタイムなしで1秒~99時間
ロケーション・レシピ設定 500ロケーション(20文字インデクス入力可)・150レシピ
ユーザーインターフェース ディスプレイ(4.3in.WQVAG カラータッチスクリーン)、アイコンタッチ操作
USBメモリにてセットアップ内容コピー可能(同一モデルどうし)、動作オンオフは5000シリーズは電源接続でオン、またはPCにて
コミュニケーション USB、Ethernet、Modbus RS485、RS232C(オプション)
電源 110-240VAC 50/60Hz universal in-lime power surply バックアップ電池のみ内蔵
付属品 等速吸引プローブ、パージフィルタ、USBケーブル(1.8m)、ACアダプタ(15V2A-100~240VAC)検査成績書、校正証明書、マニュアル
温湿度センサ(オプション) オプション Model EE80014A(0-60℃±0.5℃、15-90%±2%)
プリンタ(オプション) 【別売】専用感熱プリンタ Model AS99011
多点監視ソフトウェア(オプション) AMOSYS2000 Ethernet 経由 8ポイントまで
キャリングケース(オプション) 別売 Model AS9901ST ハードプラスティック製
寸法/重量 W113×D58×H177 / 1.23kg
ファクトリーオプション 校正済み予備センサ、アラーム外部表示高輝度ランプ、アラーム出力オープンコレクタ、RS232-C
使用環境 5℃-40℃ / 相対湿度 20%-95%(結露なきこと)
保存環境 0℃-50℃(結露なきこと)
規格・保証 ISO 21501-4 JIS B9921 1年間ただし、光源は2年間
寸法・各部名称

カゴに無いオプション品は見積をご依頼ください。

よくある質問と回答

Q1. 高濃度リモートパーティクルカウンタ Model 5300Pはどのような用途に適していますか?

A. クリーンルーム監視、作業環境測定、室内環境管理、チャンバー内の高濃度粒子試験、設備周辺の定点監視などに適しています。PDFでも、高濃度環境を含む幅広い用途が示されています。

Q2. 高濃度環境でも使用できますか?

A. はい。パーティクルカウンタ Model 5300Pは超高濃度対応モデルとして案内されており、最大2,500個/ccの条件に対応します。一般的な粒子計では難しい高濃度条件での監視を想定した機種です。

Q3. ハンドヘルド型ではなくリモート型を選ぶメリットは何ですか?

A. リモート型は、装置内・設備周辺・監視ポイントへ常設しやすく、継続監視に向いています。巡回測定ではなく、定点で継続的に粒子変動を把握したい現場に適しています。

Q4. ソフトウェアで何ができますか?

A. 付属のIMSソフトウェアにより、測定データの確認やトレンド把握がしやすくなります。

また、AMOSYS-2000とEthernet接続を用いた多点監視にも対応しています。

Q5. 5300Pはどの粒径に対応していますか?

A. PDFでは、高濃度リモートパーティクルカウンタ Model 5300Pシリーズは0.3μm対応の高濃度リモートパーティクルカウンタとして示されています。微粒子管理を重視する用途に向く仕様です。

Q6. どのような導入先で使われますか?

A. 半導体・電子部品関連、製造設備、環境試験装置、研究施設、空気質監視など、定点で粒子濃度を監視したい現場で導入しやすい機種です。

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