顕微鏡用スライド形式の解像度テストチャートは、世界最高の技術で製造。
解像度チャートを観察することで、透過光により顕微鏡の対物レンズの解像度を非常に簡単に分析できます。
59のラインパターンがあり、倍率に応じた適正な解像度テストが可能。
スライド形式で様々な顕微鏡に使用可。
1mmあたり7.5~3300本のラインペアを持つテストチャート および4 µm~0.25 µmのピンホール。
解像度テストターゲットは、すべて高精度な電子ビームリソグラフィーを用いて製造。
10×10mm²の基板は石英製で、非常に広い分光透過率(DUV-VIS-NIR)を有しています。
基板は、高い光学密度を持つクロム層が形成されています。
優れた寸法公差と構造体のエッジの真直性が確保されます。
解像度のテストターゲットは、標準サイズ75×25 mm²の堅牢なステンレス製サポートに組み込まれています。
基板 | 水晶ウエハ(溶融石英):10mm×10mm×1.0mm |
基板スライド | レーザー彫刻ステンレス:75mm×25mm×1.5mm |
パターン層 | クロム、光学濃度OD >> の場合 8@400 nm / 6@550 nm / 4.5@750 nm / 3.6@1 μm |
ラインパターン | 59グループ、7.5~3300 lp/mm (線幅 66.7μm~0.152μm) |
ピンホール(直径) | 4μm、2μm、1μm、0.5μm、0.25μm |
寸法許容差(最大絶対誤差) | 100nm/cm = 10-5 |
分光透過率範囲 | 200 nm ~ 2000 nm |